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格創東智Stocker:覆蓋半導體全流程存儲,推動良率&效率雙提速 -不著邊際網






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格創東智Stocker:覆蓋半導體全流程存儲,推動良率&效率雙提速

來源:不著邊際網-工人日報
2025-09-15 00:12:18

在半導體工廠的潔淨車間裏,一台格創東智Stocker(晶圓存儲立庫)正以2m/s的速度,將裝有晶圓的FOUP/POD載具搬入目標Shelf(儲位)。與此同時,它通過SECS/GEM協議與MES/MCS係統實時聯動,自動更新物料狀態;當檢測到庫內氧濃度波動時,N2Purge係統自動啟動,將環境參數拉回“安全範圍”……

如今的半導體Stocker,早已不是簡單的“物料倉庫”,而是集全流程自動化、係統協同調度、高潔淨控製於一體的產線核心樞紐,直接影響著晶圓良率、生產效率與製造成本。

Stocker的產線價值:

從“存儲設備”到“良率&效率加速器”

格創東智Stocker可直接為產線帶來“良率提升、效率優化、成本降低”三大核心收益,成為推動半導體智能製造的加速器。

1、提升晶圓良率

Class100潔淨度自主可控:格創東智Stocker可穩定維持Class100潔淨環境,非接觸式供電、光通訊等方式的采用進一步滿足高潔淨等級無塵環境使用要求。對比傳統倉儲,晶圓存儲期間的微粒汙染率大大降低

≤0.5G低震防損傷設計:采用高可靠性結構設計,將振動控製在≤0.5G(先進型號可至≤0.35G),配合軟質耐磨的載具卡槽,大幅降低晶圓裂片率,解決存儲過程中晶圓“隱性損傷”問題。

7×24小時無人化存取:格創東智Stocker集成高精度機械臂(定位精度±0.05mm)與RFID/視覺識別係統,支持7×24小時不間斷運行,同時避免人員進出帶來的汙染風險。

2、優化生產效率

半導體產線的“機台閑置”是最大的效率浪費,而格創東智Stocker通過“緩衝調節”與“動態調度”,有效解決這一問題:

平衡工序產能差:當光刻、刻蝕等前道工序產能高於封裝測試時,Stocker可臨時存儲半成品晶圓,避免前道設備因“物料堆積”停機;反之,當後道工序需求激增時,Stocker可快速釋放物料,確保後道設備滿負荷運行;

數據驅動調度:基於MES/MCS係統的數據,Stocker可提前準備待加工料盒,通過OHT/AGV精準對接機台LoadPort,減少機台等待物料時間,提高設備稼動率。

3、降低綜合成本

人力成本節省:Stocker單次物料存取效率是人工操作的4倍,單條產線可減少3-5名倉儲操作人員,人力成本顯著下降;

節能設計降成本:采用變頻風機、動態補氣等技術,單台Stocker年耗電量、N2 PurgeStocker年消耗氮氣量都會降低。

四大核心優勢:

格創東智Stocker以技術與服務構建護城河

作為國內 Stocker 領域 “研發最早、出貨最多” 的企業,格創東智憑借技術、產品、交付、係統四大優勢,構建起難以複製的行業護城河。

1、技術領先,打破高端存儲設備壟斷

作為TCL戰略孵化的工業智能解決方案提供商,格創東智於2024年通過戰略收購成立旗下新公司——格創維晟,構建了完整的AMHS產品體係,並在國內首發生產、交付TowerStocker和N2 PurgeStocker,填補了國產高端存儲設備的技術空白。未來,格創東智將繼續優化Stocker的技術參數,如提升搬運效率、定位精度及安全冗餘等,滿足半導體產線對於規模化與自動化升級的需求。

2、全場景設備矩陣,覆蓋半導體全流程智能存儲

為覆蓋半導體全流程存儲需求,格創東智提供晶圓盒存儲設備(Normal Stocker)、塔式跨樓層存儲設備(TowerStocker)、光罩盒存儲設備(Reticle Stocker)、氮氣填充存儲設備(N2 PurgeStocker),以及空中緩存單元(OHB)、緩衝存儲設備(NTB)等配套設備。同時,可選配人工口/天車口/AGV口/AutoTeaching等,通過精細化的軟硬件模塊組合和專用配置工具,快速響應客戶定製化存儲需求。

3、極速交付+7*24服務,保障產線快速落地與穩定運行

憑借深厚的半導體行業Know-How、強大的供應鏈支撐、專業的項目交付團隊及安裝施工團隊,格創東智Stocker可最快2.5個月設備交貨、3個月內完成安裝調試交付,較國際品牌(平均6-8 個月)縮短 50% 以上。同時建立全天候服務機製,客戶反饋問題最快2小時內響應,4小時內到場維護。

4、CIM+AMHS深度聯動,驅動整廠全自動化

區別於單一設備供應商,格創東智提供“AI+CIM+AMHS”整體解決方案,一站式提供物料自動化上下遊係統,包括MES、RTS、MCS、RTD、OHT、Stocker等,避免多廠商設備接口不兼容、數據不通暢問題;同時通過軟硬融合、整廠管控,實現“存儲-搬運-生產”全鏈路數據打通,助力工廠實現無人化、高效化運營。

應用場景:

格創東智Stocker覆蓋半導體全流程存儲需求

從晶圓製造到封裝測試,不同環節對存儲的需求各有側重,格創東智Stocker通過“標準版+定製款”的產品矩陣,實現全場景覆蓋。

前道晶圓製造

Inter-Bay Stocker:部署於車間主通道,作為全廠晶圓調度緩衝中心,支持OHT天車跨區域轉運。

N2 Purge Stocker:服務於曝光區、刻蝕區等關鍵機台群,維持氧濃度和高潔淨度,保護敏感晶圓。

後道封裝測試

載具多樣化存儲:覆蓋Cassette、Tray盤、Maskpackage等多種載具,支持SIP、Fan-Out等先進封裝。

測試回流緩存:高效管理測試分揀(Sorting)後的多次回流路徑,避免混料。

車規/特殊材料存儲

車規器件存儲:定製防靜電、低溫除濕等模塊,提高芯片可靠性。

光罩存儲:采用防紫外線腔體+獨立氮氣回路,避免光刻圖案老化或汙染。

成功案例:50+客戶驗證的實踐成果

格創東智憑借“軟件+硬件+算法”三位一體的AMHS方案,已累計服務超過50個半導體客戶,其中不乏行業頭部企業,覆蓋前道晶圓製造、後道封測全場景。

晶圓製造領域

某頭部12英寸晶圓廠,格創東智交付的Stocker自動化存儲方案不僅滿足了高潔淨度、高安全性需求,更以“15天交付首台設備”的速度刷新了行業紀錄。針對客戶特殊存儲需求,格創東智自研的N2PurgeStocker氮氣填充立庫,能實時維持百級超淨環境,抗震設計<0.5G,還可以通過自動掃碼與AGV聯動實現“黑燈操作”,有效保障了先進製程晶圓的存儲品質與生產效率。

封裝測試領域

在某頭部封測企業,格創東智結合其物流數字化升級的需求,提供了包含MCS、RTD、Stocker在內的一站式軟硬件方案,打造整廠無人化物流體係。通過Stocker與OHT、AGV的協同調度,以及與MES係統的實時數據交互,實現了物料從入庫、存儲、調度到出庫的全流程自動化,成為封測行業規模化應用自動化的典範。

從填補國產高端Stocker技術空白,到實現50+行業客戶的實踐驗證;從保障前道先進製程晶圓存儲安全,到支撐後道封測多場景柔性生產,格創東智Stocker始終以“技術自主可控、場景深度適配、服務高效響應” 為核心,將單一存儲設備升級為驅動產線良率與效率雙提升的核心樞紐。

在半導體產業邁向更高製程、更柔性生產的當下,格創東智將持續以“AI+CIM+AMHS”整體解決方案為抓手,不斷優化Stocker的技術性能與場景適配能力,從存儲環節出發,串聯起半導體製造全流程的自動化與智能化升級,為中國半導體產業突破國際技術壁壘、實現自主可控高質量發展注入堅實動力。

(本文來源:日照新聞網。本網轉發此文章,旨在為讀者提供更多信息資訊,所涉內容不構成投資、消費建議。對文章事實有疑問,請與有關方核實或與本網聯係。文章觀點非本網觀點,僅供讀者參考。)

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